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发布时间：2022-09-08 01:07:00 作者：三木森能源设备
干式螺杆真空泵是干式泵家族中的一员。所谓干式真空泵，在泵的抽气流道中，不能使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接连续向大气中排气的泵。干式真空泵在抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质，从根本上解决了油封式真空泵引发的各种问题。真空泵安装干式螺杆真空泵由于其***的性能，在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业真空获得设备。日本是应用螺杆真空泵非常多的国家，半导体和LCD 行业应用广泛，大晃株式会社的吉村将士等很早就在单头等螺杆转子方面申请了，在转子上做了深入的研究，日立公司早期也做过螺杆泵方面的研究。
无油螺杆真空泵内部的螺距是可变的，且排气能力可自由改变，这样能够很好的提升处理液体及粉尘的能力，且具有很好的耐腐蚀作用，大大降低了热负荷，延长了真空泵可使用的年限。真空泵安装需要注意的是，真空泵所涉及到的工作类型、工作压力等，都是有很大差异的。任何一种类型的真空泵，都不可能去适应所有范围、所有压力的工作，只能是依据泵体本身的性能来满足实际的生产需求，因此无油螺杆真空泵选型就比较重要了。
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