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干式螺杆真空泵原理及应用范围

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

螺杆式干式真空泵的工作过程可分为吸气、压缩和排气三个过程。随着转子的旋转，每对相互啮合的齿相继完成相同的工作循环，现在以其中一对齿来说明。纸托厂真空泵企业

干式螺杆真空泵在蒸汽收回设备中是一个关键性设备，所抽气体为简单蒸腾的蒸汽，首要成份是C4、C5、C6 等蒸汽。

螺杆式真空泵不仅适应性广泛，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。

虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加广泛性必是未来的趋势。

螺杆真空泵的使用工艺环境中，很多时候会含有一些有毒、腐蚀性、可凝性气体，以及粘性的工艺材料或气体，如聚合物、树脂、单体、低聚物等。如果遇到这些被抽介质，停泵前对螺杆真空泵的腔体进行清洁吹扫就是必需的一道环节。否则再次启动过程中，这些残留物质往往会引起泵的卡死、过载以及被侵蚀等问题，对泵体造成破坏。而例行的清洁吹扫可以尽量避免此类问题的发生。纸托厂真空泵企业