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 干式螺杆真空泵是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的一种真空抽气设备。干式螺杆真空泵工作原理是：利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触左螺杆与右螺杆做高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用，终形成真空。罗茨真空泵优势

螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。

螺杆式真空泵的应用

螺杆式真空泵不仅适应性广泛，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。

螺杆式真空泵的结构 螺杆式真空泵一般是双螺杆结构。螺杆式真空泵是通过一对非对称螺杆转子，在泵腔中作同步、高速反向运转，周期性改变齿间容积而产生的吸气和排气作用的抽气设备。

螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。