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发布时间：2022-07-08 08:13:00 作者：三木森能源设备
无油螺杆真空泵,其主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动转子旋向相反旋转，通过气体吸入、压缩、排气三个过程，达到抽气的目的。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵，多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联，相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言，因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道，而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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无油真空泵常见应用领域：
1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
4）在化学工业、工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；
5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
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